鍵合對準(zhǔn)

服務(wù)熱線: 4008 9229 58

地址: 湖北省武漢市洪山區(qū)雄楚大道468號卓刀泉財富中心2201室

EVG 610BA對準(zhǔn)系統(tǒng)

產(chǎn)品品牌: 奧地利 EVG
產(chǎn)品產(chǎn)地: 奧地利
應(yīng)用領(lǐng)域:
產(chǎn)品簡介: EVG 610BA是一款手動研發(fā)型鍵合對準(zhǔn)設(shè)備，采用雙面光學(xué)對準(zhǔn)，適合于EVG501、EVG510鍵合機的鍵合對準(zhǔn)

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產(chǎn)品簡介：

EVG 610BA是一款手動研發(fā)型鍵合對準(zhǔn)設(shè)備，采用雙面光學(xué)對準(zhǔn)，適合于EVG501、EVG510鍵合機的鍵合對準(zhǔn)。

主要特點及參數(shù)：

·最大支持6英寸（150mm）晶圓

·對準(zhǔn)精度：

底部對準(zhǔn)精度≤±2μm 3σ

透明對準(zhǔn)精度≤±1μm 3σ

·可選配紅外對準(zhǔn)