CVD

Centrotherm HORICOO 200 是大量現(xiàn)場驗證及具有超多功能的臥式爐系統(tǒng),基于客戶需求可靈活選擇大、中批量生產(chǎn)以及研發(fā)類型機(jī)臺。為AP、LP和PECVD等多種工藝應(yīng)用提供了可靠的工藝能力和很高的工藝性能。此外,同一系統(tǒng)不同工藝爐管可以匹配相關(guān)設(shè)施(大氣、真空或混合)配置不同的工藝