光刻工藝
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EVG 40NT是一款主要用于CD尺寸測(cè)量和鍵合對(duì)準(zhǔn)測(cè)量的設(shè)備，具有級(jí)高的精度，可作為EVG GEMINI FB中100nm鍵合精度的驗(yàn)證工具
EVG 610（NIL）是一款基于EVG610光刻機(jī)的紫外納米壓印設(shè)備，可針對(duì)壓印、光刻、對(duì)準(zhǔn)功能進(jìn)行快速轉(zhuǎn)換
