摻雜工藝

Centrotherm VERTICOO 200為高批量生產(chǎn)和產(chǎn)能最大化而設(shè)計(jì)，并具有高度的靈活性，適于所有的標(biāo)準(zhǔn)大氣壓與低壓化學(xué)氣相沉積工藝
Centrotherm HORICOO 300臥式批處理系統(tǒng)是世界上首先用于先進(jìn)的高產(chǎn)能的 300 mm晶圓加工平臺(tái)。