擴散爐

CentroTherm HORICOO300臥式熱反應(yīng)系統(tǒng)
  • 產(chǎn)品品牌: 德國 Centrotherm
  • 產(chǎn)品產(chǎn)地: 德國
  • 應(yīng)用領(lǐng)域: 半導(dǎo)體IC、MEMS微機電系統(tǒng)、3D封裝、化合物半導(dǎo)體器件、功率器件和光電顯示等
  • 產(chǎn)品簡介: Centrotherm HORICOO 300臥式批處理系統(tǒng)是世界上首先用于先進(jìn)的高產(chǎn)能的 300 mm晶圓加工平臺。

【產(chǎn)品簡介】

centrotherm c.HORICOO 300臥式批處理系統(tǒng)是世界上首先用于先進(jìn)的高產(chǎn)能的 300 mm晶圓加工平臺。 設(shè)備平臺由兩個各含4層爐管的系統(tǒng)及一個自動化裝置裝載系統(tǒng)組成。加熱系統(tǒng)包括5個雙區(qū)加熱單元，提供centrotherm出眾的溫度均勻性以及理想穩(wěn)定的工藝。 centrotherm Hydrox系統(tǒng)同時支持干氧及濕氧工藝。支持高達(dá)1200°C高溫工藝，其氧化和Drive-in工藝可促進(jìn)研發(fā)更具有低界面陷阱密度（Dit）和高溝道遷移率的氧化物層。

【適用工藝】

·退火

·擴散

·氧化

·LPCVD

·PECVD