DektakXT®探針式輪廓儀采用革命性的臺(tái)式設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn) 4? （0.4nm） 的無(wú)與倫比的重復(fù)性，掃描速度可提高 40%。探針式輪廓儀性能的這一重大里程碑是 Dektak® 五十多年創(chuàng)新和行業(yè)領(lǐng)導(dǎo)地位的頂峰。DektakXT 結(jié)合了行業(yè)第一的技術(shù)和設(shè)計(jì)，可提供極致的性能、易用性以及價(jià)值，實(shí)現(xiàn)從研發(fā)到質(zhì)量控制的更好過(guò)程監(jiān)控。DektakXT 的技術(shù)突破為微電子、半導(dǎo)體、太陽(yáng)能、高亮度 LED、醫(yī)療和材料科學(xué)行業(yè)的關(guān)鍵尺寸的納米級(jí)表面測(cè)量提供支持。

1）臺(tái)階高度重復(fù)性4 ?

*單拱龍門(mén)式設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了突破性的掃描穩(wěn)定性

*先進(jìn)的”智能化電子器件”實(shí)現(xiàn)了低噪聲的新標(biāo) 準(zhǔn)—新的硬件配置使數(shù)據(jù)采集能力提高了40%

*64位 的Vision64同步數(shù)據(jù)處理軟件，將數(shù)據(jù) 分析速度提高十倍。

2）功能卓越，操作簡(jiǎn)易

*直觀的Vision64用戶界面操作流程簡(jiǎn)便易行

*自對(duì)準(zhǔn)式探針設(shè)計(jì)使得更換探針的步驟簡(jiǎn)便易行

3）探針輪廓儀業(yè)界翹楚，無(wú)可匹敵的價(jià)值

* 性能優(yōu)異, 物超所值

*獨(dú)特的傳感器設(shè)計(jì)使得在單一平臺(tái)上即可實(shí)現(xiàn)超微力和正常力測(cè)量

臺(tái)階儀性能優(yōu)劣取決于以下三方面: 測(cè)量重復(fù)性, 測(cè)試速度和操作難易程度，這些因素決定了實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的質(zhì)量和實(shí)驗(yàn)操作的效率。DektakXT采用全新的儀器系統(tǒng)構(gòu)造和最優(yōu)化的測(cè)量及數(shù)據(jù)處理軟件來(lái)實(shí)現(xiàn)可靠、快速和簡(jiǎn)易的樣品檢測(cè)，達(dá)到最佳的儀器使用效果。

4）提高操作的可重復(fù)性

DektakXT 的多處領(lǐng)先設(shè)計(jì)保證了其無(wú)人能及的表現(xiàn), 達(dá)到優(yōu)于 5 埃的測(cè)量重復(fù)性. 使用單拱龍門(mén)結(jié)構(gòu)比原先的懸臂梁設(shè)計(jì)更堅(jiān)硬持久不易彎曲損壞，而且降低了周?chē)h(huán)境中聲音和震動(dòng)噪音對(duì)測(cè)量信號(hào)的影響。同時(shí)，Bruker 完善了儀器的智能化電子器件，提高了其工作性能的穩(wěn)定性，降低溫度變化對(duì)器件的影響，并且采用最先進(jìn)的數(shù)據(jù)處理器。在控制器電路中使用智能敏化電子器件，會(huì)把

系統(tǒng)和環(huán)境噪音引起的測(cè)量誤差降到最低。因此采用DektakXT 測(cè)量系統(tǒng)，能夠更穩(wěn)定可靠地掃描高度小于10nm 的臺(tái)階，獲得其形貌特征。單拱龍門(mén)結(jié)構(gòu)和智能器件的聯(lián)用，大大降低了基底噪音，增強(qiáng)了穩(wěn)定性，使其成為一個(gè)極具競(jìng)爭(zhēng)力的表面輪廓儀。

5）提高測(cè)量和數(shù)據(jù)分析速度

首次采用獨(dú)特高速的直接驅(qū)動(dòng)掃描樣品臺(tái), DektakXT 在不犧牲分辨率和基底噪音水平的前提下,大大縮短了每次掃描的間隔時(shí)間。這一改進(jìn)，提高了進(jìn)行大范圍 3D 形貌表征或者表面長(zhǎng)程應(yīng)力掃描的掃描速度。在保證質(zhì)量和重復(fù)性的前提下，可以將數(shù)據(jù)采集處理的速度提高 40%。另外DektakXT 采用 Bruker 具有 64 位數(shù)據(jù)采集同步分析的Vision64，它可以提高大范圍 3D 形貌圖的高數(shù)據(jù)量處理速度，并且可以加快數(shù)據(jù)濾波和多次掃描數(shù)據(jù)庫(kù)分析的速度。Vision64 還具有最有效直觀的用戶界面，簡(jiǎn)化了實(shí)驗(yàn)操作設(shè)置，可以自動(dòng)完成多掃描模式，使很多枯燥繁復(fù)的實(shí)驗(yàn)操作變得更快速簡(jiǎn)潔。

6）簡(jiǎn)便易行的實(shí)驗(yàn)操作系統(tǒng)

為了便于操作可供多用戶使用的系統(tǒng)，一個(gè)必要條件就是能夠迅速簡(jiǎn)便地更換不同模式所需要的探針。DektakXT新穎的探針和部件自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)裝置，可以盡量避免用戶在裝針的過(guò)程中出現(xiàn)針尖損傷等意外。這一改進(jìn)使原來(lái)費(fèi)時(shí)耗力的實(shí)驗(yàn)步驟變得簡(jiǎn)便易行。為盡可能滿足所有應(yīng)用的需求，布魯克提供各種尺寸的標(biāo)準(zhǔn)探針和特制探針，其中包括專(zhuān)為深槽測(cè)量定制的高深寬比的探針。

7）完善的數(shù)據(jù)采集和分析系統(tǒng)

與DektakXT的創(chuàng)新性設(shè)計(jì)相得益彰的配置是Bruker的Vision64操作分析軟件。Vision64提供了操作上最實(shí)用簡(jiǎn)潔的用戶界面，具備智能板塊，可視化的使用流程，以及各種參數(shù)的自助設(shè)定以滿足用戶的各種使用要求，快速簡(jiǎn)便的實(shí)現(xiàn)各種類(lèi)型數(shù)據(jù)的采集和分析。簡(jiǎn)明的測(cè)量窗口集參數(shù)設(shè)定與硬件控制于一體，極富邏輯性，既可使不常使用儀器者輕松回憶起如何操作，又可使操作老手不至于為過(guò)多的基本重復(fù)步驟而煩惱或分心。

數(shù)據(jù)獲取后，軟件的自動(dòng)調(diào)平，臺(tái)階識(shí)別分析，以及數(shù)據(jù)分析模塊的各種濾波功能等使得分析簡(jiǎn)便快捷。使用數(shù)據(jù)分析模塊，不論是通過(guò)一個(gè)程式來(lái)處理單次掃描結(jié)果的標(biāo)準(zhǔn)分析，還是嘗試使用多種濾波設(shè)置和計(jì)算，使用者都可以清晰地看到數(shù)據(jù)處理結(jié)果以及其他可用的分析手段。

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