光刻測(cè)試

EVG 40NT檢測(cè)系統(tǒng)
  • 產(chǎn)品品牌: 奧地利 EVG
  • 產(chǎn)品產(chǎn)地: 奧地利
  • 應(yīng)用領(lǐng)域:
  • 產(chǎn)品簡(jiǎn)介: EVG 40NT是一款主要用于CD尺寸測(cè)量和鍵合對(duì)準(zhǔn)測(cè)量的設(shè)備，具有級(jí)高的精度，可作為EVG GEMINI FB中100nm鍵合精度的驗(yàn)證工具

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

EVG 40NT是一款主要用于CD尺寸測(cè)量和鍵合對(duì)準(zhǔn)測(cè)量的設(shè)備，具有級(jí)高的精度，可作為EVG GEMINI FB中100nm鍵合精度的驗(yàn)證工具。

主要特點(diǎn)及參數(shù)：

·自上而下的顯微鏡流型測(cè)量

·對(duì)準(zhǔn)精度測(cè)量

·CD尺寸測(cè)量

·多層厚度測(cè)量

·可作為單獨(dú)的設(shè)備使用也可集成于EVG的大型工藝平臺(tái)中