鍵合對(duì)準(zhǔn)

EVG 610BA對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)
  • 產(chǎn)品品牌: 奧地利 EVG
  • 產(chǎn)品產(chǎn)地: 奧地利
  • 應(yīng)用領(lǐng)域:
  • 產(chǎn)品簡(jiǎn)介: EVG 610BA是一款手動(dòng)研發(fā)型鍵合對(duì)準(zhǔn)設(shè)備，采用雙面光學(xué)對(duì)準(zhǔn)，適合于EVG501、EVG510鍵合機(jī)的鍵合對(duì)準(zhǔn)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

EVG 610BA是一款手動(dòng)研發(fā)型鍵合對(duì)準(zhǔn)設(shè)備，采用雙面光學(xué)對(duì)準(zhǔn)，適合于EVG501、EVG510鍵合機(jī)的鍵合對(duì)準(zhǔn)。

主要特點(diǎn)及參數(shù)：

·最大支持6英寸（150mm）晶圓

·對(duì)準(zhǔn)精度：

底部對(duì)準(zhǔn)精度≤±2μm 3σ

透明對(duì)準(zhǔn)精度≤±1μm 3σ

·可選配紅外對(duì)準(zhǔn)