Hysitron TI 980 納米壓痕儀

布魯克的 Hysitron TI 980 TriboIndenter 同時(shí)具有最大性能、靈活性、可靠性、可用性和速度。這臺(tái)行業(yè)領(lǐng)先的系統(tǒng)以數(shù)十年的 Hysitron 技術(shù)創(chuàng)新為基礎(chǔ)，在納米力學(xué)特性測(cè)試方面提供更高水平的非凡性能、增強(qiáng)的功能和極致的多功能性。Hysitron TI 980 納米壓痕儀是一臺(tái)卓越的納米力學(xué)測(cè)試儀器，在準(zhǔn)確控制、測(cè)試帶寬、測(cè)試靈活性、適用性、測(cè)量可靠性和系統(tǒng)模塊化方面都取得了顯著進(jìn)步。

布魯克的 Hysitron公司的旗艦產(chǎn)品是全功能TI 980型納米力學(xué)測(cè)試系統(tǒng)，通過納米級(jí)位成像，實(shí)現(xiàn)了壓痕、劃痕和磨損過程的納米尺度原位可視化表征。Hysitron（海思創(chuàng)）應(yīng)用其工藝超前的技術(shù)“三板電容傳導(dǎo)”，從源頭上保證了儀器穩(wěn)定性和靈敏度。使用Hysitron（海思創(chuàng)）納米力學(xué)材料檢測(cè)系統(tǒng)通過探針可以獲得材料微區(qū)的硬度、彈性模量、摩擦系數(shù)、磨損率、斷裂剛度、失效、蠕變、粘附力（結(jié)合力）等力學(xué)數(shù)據(jù)。不僅在微納米水平上開展力學(xué)行為特性的研究，還可以進(jìn)行納米尺寸上的機(jī)械加工。TI 980 符合ISO納米壓痕檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)以及溫度濕度測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)。

設(shè)備具有微納米尺度上的壓痕、劃痕、摩擦磨損和原位掃描探針成像功能；通過軟件直接實(shí)現(xiàn)連續(xù)更換不同實(shí)驗(yàn)?zāi)Ｊ?，具有高分辨率，高控制精度，高穩(wěn)定性的特點(diǎn)?？梢酝瓿晌?/span>/納米尺度上材料力學(xué)性能測(cè)試和表征，用于產(chǎn)品的研究和開發(fā)?？梢杂糜诰酆衔锊牧稀o機(jī)非金屬材料、金屬材料和生物材料的納米壓痕、納米劃痕、摩擦磨損等納米特性測(cè)試，獲得相關(guān)條件下的硬度、模量、蠕變、屈服、納米磨損性能、粘結(jié)失效、斷裂韌性等性能。

一、亮點(diǎn)

1）無與倫比------精確控制和測(cè)試帶寬

提供最快的反饋控制和最低噪音水平，實(shí)現(xiàn)真正的定量納米機(jī)械和納米摩擦特性。

2）同步------多尺度和多技術(shù)測(cè)量

支持納米壓痕到微米壓痕、納米劃痕、納米摩擦磨損、動(dòng)態(tài)納米壓痕、原位 SPM 成像和高速性能成像。

3）最大化------靈活性和潛在表征能力

提供最廣泛的創(chuàng)新表征技術(shù)，通用樣品安裝選項(xiàng)和模塊化系統(tǒng)架構(gòu)。

二、特點(diǎn)

1）最大化您的特征表征潛力------強(qiáng)大的標(biāo)準(zhǔn)配置

* 原位 SPM 成像；

* 高分辨率光學(xué)成像；

* 2D 電容式傳感器；

* 計(jì)量級(jí)花崗巖；

* 主動(dòng)防振隔離；

* Performech II 高級(jí)控制模塊；

* 環(huán)境隔離罩；

* 高速性能成像 （XPM；

* 動(dòng)態(tài)納米壓痕（納米DMA III）；

* 模塊化系統(tǒng)架構(gòu)；

* 多功能樣品夾頭；

* 高精度樣品臺(tái)；

2）世界上最強(qiáng)大的納米力學(xué)和納米摩擦測(cè)試系統(tǒng)------測(cè)試模式

a）納米級(jí)動(dòng)態(tài)機(jī)械分析nanoDMA III

*定量納米尺度深度分析與粘彈性特性測(cè)量

布魯克的納米DMA III（納米級(jí)動(dòng)態(tài)機(jī)械分析）是一種強(qiáng)大的新型動(dòng)態(tài)測(cè)試技術(shù)，用于進(jìn)行納米級(jí)機(jī)械性能測(cè)量。nanoDMA III 配備了新開發(fā)的 CMX 控制算法，可真正連續(xù)測(cè)量機(jī)械性能，作為材料表面深度的函數(shù)。CMX 提供機(jī)械性能的定量和真正連續(xù)測(cè)量，包括硬度、存儲(chǔ)模量、損耗模量、復(fù)合模量和損耗角量，作為壓痕深度、頻率和時(shí)間的函數(shù)。

*強(qiáng)大的納米級(jí)動(dòng)態(tài)特性

高帶寬傳感器和控制電子器件針對(duì)納米級(jí)動(dòng)態(tài)測(cè)試進(jìn)行了全面優(yōu)化，并提供業(yè)界領(lǐng)先的性能、靈敏度和廣泛的動(dòng)態(tài)范圍。Hysitron 獨(dú)特的耦合交流/直流力調(diào)制程序可實(shí)現(xiàn)真正的納米級(jí)機(jī)械特性，并且不會(huì)受到困擾其他納米級(jí)動(dòng)態(tài)剛度技術(shù)的緩慢反饋響應(yīng)時(shí)間。nanoDMA III 集成了獨(dú)特的參考頻率技術(shù)，用于在實(shí)驗(yàn)過程中進(jìn)行熱漂移校正，從而能夠在納米尺度上可靠地執(zhí)行長時(shí)間的頻率掃描和蠕變測(cè)試。

b）定量、超高速機(jī)械性能映射------XPM

保守地，傳統(tǒng)的納米壓痕單點(diǎn)測(cè)量需要 90 秒，而 20x20 陣列需要 10 個(gè)小時(shí)才能完成。利用布魯克的新 Hysitron XPM 超快屬性映射，只需 1.1 分鐘即可編譯此數(shù)據(jù)集！

c）高分辨率的原位 SPM 成像

    * 納米精密測(cè)試放置精度

布魯克的原位 SPM 成像可提供與測(cè)試相同的長度刻度的成像分辨率，從而在納米尺度上實(shí)現(xiàn)真正定量和準(zhǔn)確的表征。測(cè)試現(xiàn)場(chǎng)的預(yù)測(cè)試 SPM 成像可實(shí)現(xiàn)以納米分辨率直接測(cè)量表面形態(tài)（例如微結(jié)構(gòu)、地形、粗糙度），對(duì)于在測(cè)試前避免表面缺陷至關(guān)重要。高精度 ±10nm 測(cè)試位置精度簡化了多相材料的測(cè)試，并允許微結(jié)構(gòu)（如形狀、尺寸或域分布）與機(jī)械性能直接相關(guān)。此外，測(cè)試后 SPM 成像提供材料變形行為（如斷裂、堆積）的定量特征和測(cè)試位置的驗(yàn)證。

    *分辨率高達(dá) 4096 x 4096

布魯克的 SPM® 將納米機(jī)械 SPM 成像功能更上一層樓。借助 SPM+，掃描尺寸和圖像分辨率完全可定制，以滿足您的特定樣本分析需求。

三、優(yōu)勢(shì)

保持您處于材料發(fā)現(xiàn)和開發(fā)的前沿

 TI 980 納米壓痕儀基于布魯克的 Performech II 高級(jí)控制模塊，在精確控制和測(cè)試帶寬、測(cè)試靈活性、適用性、靈敏度、測(cè)量可靠性和系統(tǒng)模塊化方面取得了顯著進(jìn)步。TI 980 強(qiáng)大的基礎(chǔ)配置包括定量納米壓痕和微米壓痕、納米劃痕、納米摩擦磨損、高分辨率原位掃描探針顯微鏡 （SPM） 成像、動(dòng)態(tài)納米壓痕和高速性能成像等，全面了解納米級(jí)材料行為。

 自動(dòng)化的簡單和速度

Hysitron TI 980 納米壓痕提供快速、多樣品和多技術(shù)自動(dòng)化測(cè)試功能，實(shí)現(xiàn)高通量表征。智能自動(dòng)化程序以用戶定義的周期自動(dòng)驗(yàn)證探頭形狀，其高分辨多尺度成像和全樣本光學(xué)掃描簡化了測(cè)試過程。

 面向未來的表征潛力

TI 980 納米壓痕是在開發(fā)時(shí)基于最大的靈活性，了解您目前的需求可能會(huì)在將來有所不同。TI 980 支持最廣泛的相關(guān)納米力學(xué)表征技術(shù)，有望讓您的研究和材料開發(fā)工作始終處于技術(shù)前沿。TI 980 納米壓痕儀還帶有多功能系統(tǒng)控制和數(shù)據(jù)分析軟件、通用樣品安裝平臺(tái)（機(jī)械、磁性和真空）以及模塊化環(huán)境隔離罩相結(jié)合，將適應(yīng)您未來的表征要求。

四、特色選項(xiàng)和附加組件

1） xSol 環(huán)境控制腔與載臺(tái)------環(huán)境控制腔實(shí)現(xiàn)了定量納米力學(xué)性能和納米摩擦學(xué)特征隨著溫度、氣氛和濕度的變化。

2）nanoECR ------納米壓痕測(cè)試的原位導(dǎo)電特性可以和納米力學(xué)性能，材料形變行為和接觸電阻等同步研究。

3）xProbe------基于 MEMS 傳感器的探針可以實(shí)現(xiàn)原子力顯微鏡級(jí)別的超低力和位移噪音水平。

4）iTF ------專利的原位薄膜力學(xué)性能分析包提供了排除基底效應(yīng)影響的薄膜和多層膜結(jié)構(gòu)的定量力學(xué)性能。、

5）3D OmniProbe 和多量程NanoProbe------通過擴(kuò)展力和位移測(cè)量量程實(shí)現(xiàn)微米尺度的力學(xué)和摩擦學(xué)特性表征

6）同步拉曼光譜------原位研究力學(xué)性能和摩擦學(xué)特性與材料結(jié)構(gòu)和化學(xué)成分的相關(guān)性。

7）熒光顯微鏡聯(lián)用------集成熒光顯微鏡可實(shí)現(xiàn)熒光共定位納米力學(xué)測(cè)試等。

8）電化學(xué)模塊------實(shí)現(xiàn)氧化和還原環(huán)境下的原位定量納米力學(xué)和納米摩擦學(xué)行為研究。

9）自動(dòng)探針更換模塊------按鈕操作的自動(dòng)探針更換模塊。

10）樣品臺(tái)------ 多尺度的磁性、機(jī)械和真空固定方式可以固定幾乎所有待測(cè)樣品，包括 300mm 晶圓。

11）TriboAE?------ 聲音傳感器能通過針尖原位監(jiān)測(cè)納米壓痕過程中的斷裂和形變產(chǎn)生的聲音信號(hào)。

12）TriboImage?------納米尺度劃痕/磨損的實(shí)時(shí)表征。

13）模量成像------動(dòng)態(tài)掃描納米壓痕模式提供材料表面的定量、高分辨模量分布。

 五、相關(guān)圖片

1）布魯克的Hysitron TI 980 nanoindenter 提供業(yè)界領(lǐng)先的噪聲水平，用于接近納米尺度的定量表征，并且具有超快的反饋控制，從而對(duì)測(cè)試過程進(jìn)行準(zhǔn)確的控制

2)  布魯克的Hysitron TI 980 可實(shí)現(xiàn)多測(cè)頭同時(shí)測(cè)量。使用任意組合的兩個(gè)傳感器進(jìn)行無縫測(cè)試，實(shí)現(xiàn)最大優(yōu)化

3）陶瓷材料模量成像結(jié)果由 67 秒內(nèi)的 400 次XPM快速測(cè)量獲得