干法去膠
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- 服務(wù)時間: 周一到周五 9:00-18:00
- 地址: 湖北省武漢市洪山區(qū)雄楚大道468號卓刀泉財富中心2201室
Trymax NEO200A系列自動干法去膠
- 產(chǎn)品品牌: 荷蘭 Trymax
- 產(chǎn)品產(chǎn)地: 荷蘭
- 應(yīng)用領(lǐng)域:
- 產(chǎn)品簡介:
【主要應(yīng)用】
前道：Light Etching；Descum strip；PR Ashing；離子注入后，光刻后，鍍膜前等工藝過程；
后道/先進封裝/3D IC：Descum Bumping；Plasma Treatment；Wafer Cleaning等。
【主要參數(shù)】
? 雙Cassette
? 3軸機械手
? 單射頻源配置（13.56MHz）
? 單微波源配置（2.45GHz）
? 雙源配置（RF/MW）
? DCP雙源（RF/RF）
? 適應(yīng)wafer 100mm~200mm