導(dǎo)電探針的結(jié)構(gòu)特征是什么?
發(fā)布日期:2022-03-03 09:33:33
  導(dǎo)電探針是可用于分析薄片中礦物微區(qū)化學(xué)組成的分析儀器。這個儀器將高度集中的電子束集中在礦物上,刺激構(gòu)成礦物元素的特征X射線。用分光儀或檢波器測量熒光的波長,并將其強度與標(biāo)準(zhǔn)樣品進(jìn)行比較,或根據(jù)其他強度補償直接計算組含量。電子探針X射線顯微鏡分析儀,又稱微區(qū)光譜分析儀??梢詫悠愤M(jìn)行小面積成分分析。除了h、He、Li、Be等幾個輕元素外,除了U元素之外,還可以進(jìn)行定性和定量分析。電子探針的大量放置以加速、聚焦的非常窄的電子束作為探針,刺激樣品的小面積,從而釋放出射線,測量的波長和強度??梢詫@個微區(qū)域進(jìn)行定性或定量分析。將掃描電子顯微鏡和電子探針結(jié)合起來,將顯微鏡觀察到的顯微組織和元素成分聯(lián)系起來,解決了材料的顯微不均勻性問題,成為研究亞微觀結(jié)構(gòu)的有力工具。

  導(dǎo)電探針的工作原理是什么?

  導(dǎo)電探針有三種基本工作方法:點分析用于選定點的全光譜定性分析或定量分析,以及對所含因素的定量分析。線分析用于顯示圖元沿選定線方向的強度變化。面分析用于觀察選定精細(xì)區(qū)域內(nèi)元素的濃度分布。

  根據(jù)莫塞萊定律,各種的特征各有一定的波長,通過探測這些不同波長來確定樣品中包含的元素是電子探針定性分析的依據(jù)。將測量的樣品與標(biāo)準(zhǔn)樣品中Y的衍射強度進(jìn)行比較,可以進(jìn)行電子探針的定量分析。當(dāng)然,電子束激發(fā)的用于元素分析,前提是入射電子束的能量大于原子的內(nèi)部電子臨界電離激發(fā)能量。

  導(dǎo)電探針的結(jié)構(gòu)特征是什么?

  電子探針微分析器(又稱電子探針)使用約1Pm的微焦點電子束,在樣品表面微區(qū)刺激元素的特性X射線,并根據(jù)特性X射線的波長和強度對微區(qū)化學(xué)成分進(jìn)行定性或定量分析。電子探針的光學(xué)系統(tǒng)、真空系統(tǒng)等與掃描電鏡基本相同,一般配備二次電子和后向散射電子信號探測器,具有組織形式和微區(qū)域成分分析兩種功能。電子探針的構(gòu)成除了類似掃描電鏡結(jié)構(gòu)的主機系統(tǒng)外,主要還包括分光系統(tǒng)、檢查系統(tǒng)等。

     導(dǎo)電探針主要由電子光學(xué)系統(tǒng)(鏡子)、光譜和信息記錄顯示系統(tǒng)組成。電子探針和掃描電鏡在電子光學(xué)系統(tǒng)中的結(jié)構(gòu)基本相同,經(jīng)常組合成單個儀器。