ContourX-500 光學(xué)輪廓儀是全球功能最全面的自動(dòng)化臺(tái)式系統(tǒng)，可快速完成非接觸式三維表面計(jì)量。ContourX-500 具有卓越的 Z 軸分辨率和準(zhǔn)確度，并具備布魯克落地式白光干涉（WLI）儀器廣受業(yè)界認(rèn)可的所有優(yōu)勢(shì)，而占地面積更小。該款輪廓儀可輕松自主配置，適用于從精密加工表面和半導(dǎo)體工藝的質(zhì)量保證／質(zhì)量控制（QA/QC）計(jì)量到眼科和微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）器件的研發(fā)表征等廣泛的復(fù)雜應(yīng)用。

1 ）最先進(jìn)的臺(tái)式三維形貌計(jì)量設(shè)備

* 與放大倍率無(wú)關(guān)的業(yè)界最好Z軸分辨率

*  高級(jí)自動(dòng)化功能，包含帶編碼器的XY軸樣品臺(tái)、自動(dòng)測(cè)頭傾斜和自動(dòng)亮度調(diào)整

*  更緊湊的氣動(dòng)減震臺(tái)設(shè)計(jì)

2 ）卓越的測(cè)量與分析功能

*  易于使用的界面，可快速準(zhǔn)確地獲得結(jié)果

*  廣泛的自動(dòng)化功能，可量身定制測(cè)量和分析程序

*  最廣泛的濾鏡和分析工具

*  滿足包括ISO 25178, ASME B46.1, ISO 4287等標(biāo)準(zhǔn)在內(nèi)的定制化分析報(bào)告

3）高級(jí)自動(dòng)化功能

布魯克專(zhuān)有的自動(dòng)傾斜測(cè)頭為生產(chǎn)和監(jiān)測(cè)提供了無(wú)與倫比的靈活性。通過(guò)將自動(dòng)傾斜測(cè)頭與光學(xué)裝置耦合在顯微鏡上，布魯克實(shí)現(xiàn)了測(cè)試位置不受傾斜角度影響的測(cè)量。這樣可以減少操作員的干預(yù)，提供最大的可重復(fù)性。進(jìn)一步結(jié)合自動(dòng)樣品臺(tái)和物鏡塔臺(tái)，使得ContourX-500非常適合“按需測(cè)量”工業(yè)要求，且占用空間小。

4）無(wú)與倫比的分析與回報(bào)

通過(guò)上千項(xiàng)自定義分析功能和簡(jiǎn)潔而強(qiáng)大的VisionXpress?和Vision64®用戶界面，ContourX-500為提高實(shí)驗(yàn)室和工廠車(chē)間的生產(chǎn)率進(jìn)行了優(yōu)化。這種獨(dú)特的硬件和軟件組合提供了對(duì)高可重復(fù)性和高通量計(jì)量學(xué)測(cè)量的便捷訪問(wèn)，超過(guò)了同類(lèi)計(jì)量設(shè)備的能力。傳統(tǒng)的樣品臺(tái)傾斜方式需要通過(guò)使用者調(diào)整五個(gè)運(yùn)動(dòng)軸才能保證測(cè)試位置保持在入射光垂直測(cè)試位置。布魯克獨(dú)有的傾斜測(cè)頭設(shè)計(jì)使其在移動(dòng)時(shí)能一直保持測(cè)試位置準(zhǔn)確聚焦成像，無(wú)需擔(dān)心調(diào)整樣品傾角時(shí)視場(chǎng)移動(dòng)，從而更輕松、快速、自動(dòng)測(cè)量。

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1）傳統(tǒng)的俯仰滾動(dòng)工作臺(tái)設(shè)計(jì)需要操作人員調(diào)整五個(gè)旋轉(zhuǎn)軸，以將檢測(cè)點(diǎn)保持在視線上進(jìn)行測(cè)量。布魯克獨(dú)特的光學(xué)頭傾斜/俯仰設(shè)計(jì)，不受傾斜影響，都能將視線保持在檢測(cè)點(diǎn)上，從而優(yōu)化圖像采集，并大幅縮短數(shù)據(jù)獲取時(shí)間

2）分析微流體器件的底部通道，通過(guò) Vision64 的多個(gè)區(qū)域直接提取