布魯克是三維表面計量與檢測的全球領(lǐng)導(dǎo)者，提供快速快速的非接觸式三維輪廓表征方案。樣品小至顯微視場下的MEMS結(jié)構(gòu)，大到完整的機械引擎。我們的光學(xué)輪廓儀基于Wyko®專有核心技術(shù)，歷經(jīng)十代積累，提供了其他測量系統(tǒng)無法企及的高精度與穩(wěn)定性。在今日，這些正成為精密表面三維測量的主流應(yīng)用場景。

三維光學(xué)輪廓儀NPFLEX ，針對大樣品設(shè)計的非接觸測試分析系統(tǒng)

1）靈活測量大尺寸、特殊角度的樣品，其靈活性表現(xiàn)在可用于測量表征更大的面型和更難測的角度樣品

• 創(chuàng)新性的空間設(shè)計使得可測零件（樣品）更大、形狀更多；
• 開放式龍門、客戶定制的夾具和可選的搖擺測量頭可輕松測量想測部位。

通常情況下，測量比較大的樣品或者特殊形狀、特定表面的樣品時，往往花費較長的時間對樣品進行切割處理，才可進行測量。如今，開發(fā)出新型的NPFLEX測量系統(tǒng)，擁有超大測量空間，最高可測13英寸，這種創(chuàng)新性的空間設(shè)計，可以測量更大尺寸、更復(fù)雜形狀的樣品。開放式龍門、定制的夾具和可選的搖擺測量頭可輕松測量想測的樣品部位。開放式結(jié)構(gòu)與Bruker的專利頭部調(diào)節(jié) tip/tilt測量頭，包含理想的數(shù)值孔徑及實現(xiàn)了更長的工作距離下測量。這使得NPFLEX善于測量深溝，高縱橫比的孔洞，或表面高低起伏比較大的樣品。

2）高效的納米級分辨率的三維表面信息測量

• 每次測量均可獲得完整表面信息，并可用于多種分析目的；

大家對很多樣品的表面性質(zhì)感興趣，但是要獲得這些品性質(zhì)，需要檢測大量的樣品表面定量信息。許多應(yīng)用在航空航天，汽車，醫(yī)療植入產(chǎn)業(yè)的大尺寸樣品，往往只能借助于二維接觸式檢測工具進行表征，獲得的只是一條線測量數(shù)據(jù)。二維掃描能夠提供樣品的表面輪廓，但是無法深入研究樣品表面更精確的紋理細(xì)節(jié)信息。

• 更容易獲得更多的測量數(shù)據(jù)來幫助分析

NPFLEX測試系統(tǒng)采用白光干涉原理，在每一個測量點可以實現(xiàn)表面形貌的三維信息收集，且具有亞納米級的垂直分辨率。所收集的數(shù)據(jù)不受探針曲率半徑的局限，高效的三維表面信息測量可獲取除表面粗糙度以外的多種分析結(jié)果，更多的測量數(shù)據(jù)來幫助分析樣品性質(zhì)。

3）垂直方向亞納米分辨率提供更多的細(xì)節(jié)

• 干涉技術(shù)實現(xiàn)每一個測量象素點上的亞納米級別垂直分辨率；
• 工業(yè)界使用多年業(yè)已驗證的干涉技術(shù)提供具有統(tǒng)計意義的數(shù)據(jù)，為日漸苛刻的加工工藝提

供保障。

4）快速獲取測量數(shù)據(jù)，測試過程迅速高效

• 最少的樣品準(zhǔn)備時間和測量準(zhǔn)備時間；

NPFLEX三維測量系統(tǒng)，能夠靈活高效的獲取大量測試數(shù)據(jù)。大大縮短了樣品制備時間和測量方案設(shè)置時間，操作者可以快速更換樣品，而且無需全面掌握樣品形狀和表面形貌的前提下，對樣品的不同表面進行測量。僅需要不到15秒的時間，就可以出色地完成一個測量點的數(shù)據(jù)采集和分析工作

•  比接觸法測量（一條線）更大的視場（一個面）獲得表面更多的數(shù)據(jù)

NPFLEX采用非接觸式測量技術(shù)，具有獨特的開放式大樣品臺和直觀迅速的分析軟件來表征樣品的表面紋理，光潔度，粗糙度，彎曲度，坡度，和許多其他特征，測量數(shù)據(jù)精度高達埃級。該系統(tǒng)提供了最全面的計量平臺，可用于大型精密加工部件的表面特性表征。

5）卓越品質(zhì)，堅固耐用

NPELEX整體設(shè)計堅固耐用,大理石機臺可以承受最重高達170磅的重量。開放式龍門設(shè)計可以靈活性測量表征更大的面型和更難測的角度。客戶定制的夾具和可選的搖擺測量頭可輕松的轉(zhuǎn)換測量方向,表征樣品的不同位置。在實驗過程中,使用NPFLEX,對于樣品大小,取樣過程以及實驗環(huán)境的要求,都相對寬松很多,使得實驗可以靈活簡便的完成,幫助生產(chǎn)者獲得產(chǎn)品性質(zhì)的精密數(shù)據(jù)。

6）為客戶量身訂做最合適的儀器配置

NPFLEX在基本配置的基礎(chǔ)上，還有很多備選的配件和配置方滿足不同客戶的測量需求：

• 可選的搖擺測量頭可輕松測量想測的樣品部位,測量樣品的側(cè)壁、傾斜表面以及斜面邊緣，重復(fù)性好。
• 獲得研發(fā)大獎的透過透明介質(zhì)測量模塊(ThroughTransmissive Media, TTM)模塊,結(jié)合環(huán)境測試腔,可以穿透5cm厚的色教材料,可對樣品進行加熱或者冷卻,進行原位測量。
• 可選的折疊鏡頭能夠測量碗狀樣品的側(cè)壁和底部孔洞。

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