產(chǎn)品中心

EVG 301是一款研發(fā)型單晶圓清洗設(shè)備，采用兆聲清洗在鍵合前對晶圓表面做清洗，提高鍵合質(zhì)量
EVG 20是一款紅外快速檢測系統(tǒng)，主要用于檢測鍵合空洞，是熔融鍵合設(shè)備的合適搭檔
EVG 40NT是一款主要用于CD尺寸測量和鍵合對準(zhǔn)測量的設(shè)備，具有級(jí)高的精度，可作為EVG GEMINI FB中100nm鍵合精度的驗(yàn)證工具
EVG 610（NIL）是一款基于EVG610光刻機(jī)的紫外納米壓印設(shè)備，可針對壓印、光刻、對準(zhǔn)功能進(jìn)行快速轉(zhuǎn)換
單面/雙面光刻系統(tǒng)
測試與輔助工藝設(shè)備
布魯克QUANTAX WDS---布魯克電子顯微鏡分析儀高精度儀器,用于低能端的超敏感、高能量分辨的X射線微束分析。
電子顯微鏡分析儀QUANTAX Micro-XRF---幾乎無需樣品制備,但具有極高的元素靈敏度
X射線的最高檢測效率